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    影像測量儀的誤差來源
    日期:2015-08-20 09:36:29 瀏覽次數:1193
     影像測量儀的測量可以是單軸、二維平面的測量,也可以是三維空間坐標的測量, 測量時先對焦,取點,最后計算處理。讀數來自于標尺即光柵系統, 對焦對準依靠光學系統, 還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源, 因為, 基于影像方法測量的儀器, 如果被測件不能被有效正確的照明, 則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外, 環境條件也是制約測量精度不可忽視的因素?;谏鲜龇治? 可以歸納出以下幾個方面的誤差來源:
    1)光柵計數尺的誤差;
    2)工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差;
    3)工作臺兩測量軸垂直度帶來的誤差;
    4)顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶來的誤差;
    5)測量室溫度偏離校準要求的參考溫度帶來的誤差;
    6)光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。
           在這幾種因素中, 前四項誤差, 是硬件誤差, 在儀器制造過程中已經形成并固定下來, 一般無法改變; 溫度影響帶來的誤差, 必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小其影響。最后一項則常被忽視, 而在實際測量中, 當光源照明條件改變時, 直接影響被測工件的照明效果和影像質量, 主要是因為影像測量儀的圖像是通過CCD 接收, 盡管CCD具有自動調節增益的功能, 但當亮度過大時即失去調節功能, 導致被測工件影像在縮小, 當亮度過低時, 工件影像反而變大。這種影響, 對于測量具有重復圖形結構之間的間距時, 只要整個測量過程中照明條件保持不變, 其影響可以忽略, 因為每個重復圖形結構都同時在變大或變小, 間距的測量計算直接消除了影像變形的影響, 如測量玻璃尺、網格板刻線間距;除了這種特殊情形外, 如測量圓的直徑、工件的長度和寬度, 都將帶來明顯的誤差。在以影像測量工件樣品結構的幾何尺寸時, 光照明條件的改變將會直接影像被測尺寸, 如線寬、圓直徑及其他幾何形位公差, 因次要確保取到的邊界點是產品需要檢測的邊界 , 在高精度測量中, 這是導致測量不確定度增大的關鍵因素, 應引起足夠重視。


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